?真空泵機組是由多種真空泵組合而成的真空獲得設(shè)備，其目的是在特定的工作條件下，能夠獲得比單一真空泵更低的壓力、更大的抽氣速度或者更適合的真空環(huán)境。
啟動前的準備要點
檢查設(shè)備連接與完整性
仔細檢查真空泵機組各部件之間的連接是否牢固，包括管道、閥門、法蘭等的連接。確保真空管道無裂縫、無泄漏，所有的連接件都已擰緊，密封良好。例如，檢查法蘭連接處的密封墊片是否安裝正確，有無破損，以防止空氣泄漏進入真空系統(tǒng)。
確認真空泵機組的所有組件齊全且完好，如主真空泵、前級真空泵、電機、儀表等設(shè)備外觀無損壞，電線連接正常，各個真空泵的油位（如果是油封真空泵）處于合適的位置。對于油位檢查，要查看油窗，油位應該在標記的上下限之間，以保證真空泵的正常潤滑。
系統(tǒng)清潔與干燥檢查
確保被抽系統(tǒng)和真空泵機組內(nèi)部清潔、干燥。因為雜質(zhì)和水分可能會影響真空泵的性能，甚至損壞真空泵。在啟動前，可以使用干凈的壓縮空氣或氮氣吹掃真空系統(tǒng)和真空泵機組，去除可能存在的灰塵、碎屑等雜質(zhì)。
檢查系統(tǒng)中是否有殘留的液體，如果有，需要清除。特別是對于可能與真空泵工作液發(fā)生反應的液體，如強酸、強堿等，必須徹底清除，以避免損壞真空泵。
閥門狀態(tài)檢查與設(shè)置
確認所有閥門處于正確的初始狀態(tài)。進氣閥應關(guān)閉，防止空氣在啟動時大量進入系統(tǒng)；排氣閥應打開，確保真空泵能夠順利排出抽出的氣體。對于一些帶有旁通閥的系統(tǒng)，要根據(jù)具體的操作要求設(shè)置旁通閥的狀態(tài)，例如在啟動前可能需要關(guān)閉旁通閥，以保證系統(tǒng)的正常抽氣路徑。
真空測量儀表校準與檢查
檢查真空測量儀表是否正常工作，并且進行校準（如果需要）。使用標準的真空校準設(shè)備或者已知真空度的參考系統(tǒng)，對熱偶真空計、電離真空計等儀表進行校準，確保測量的準確性。儀表的讀數(shù)應該能夠準確反映系統(tǒng)的真空度，這對于監(jiān)控真空泵機組的工作狀態(tài)至關(guān)重要。
啟動過程要點
順序啟動真空泵
按照正確的順序啟動真空泵。一般先啟動前級真空泵，因為它可以預先降低系統(tǒng)壓力，為啟動主真空泵創(chuàng)造條件。在啟動前級真空泵后，觀察其運行狀態(tài)，如電機的轉(zhuǎn)速、泵的聲音等是否正常。當系統(tǒng)壓力降低到主真空泵的啟動壓力要求后，再啟動主真空泵。例如，對于以旋片真空泵為前級泵、擴散泵為主泵的機組，當旋片真空泵將系統(tǒng)壓力抽到低于 10 - 1 帕后，才能啟動擴散泵。
關(guān)注啟動電流與電壓
在啟動真空泵時，密切關(guān)注電機的啟動電流和電壓。啟動電流不應超過電機的額定電流，否則可能會損壞電機或電氣設(shè)備。如果啟動電流過大，可能是電機負載過重或者存在電氣故障，需要立即停止啟動并檢查原因。同時，確保供電電壓穩(wěn)定在真空泵機組要求的額定電壓范圍內(nèi)，電壓波動過大可能會影響真空泵的正常運行。
檢查真空系統(tǒng)初始壓力變化
啟動真空泵后，觀察真空系統(tǒng)的初始壓力變化。真空測量儀表應該顯示壓力逐漸下降，如果壓力沒有下降或者下降速度過慢，可能是真空泵機組存在漏氣、閥門未正確開啟或者真空泵本身故障等問題。此時需要對系統(tǒng)進行檢查，如使用檢漏儀檢查系統(tǒng)是否漏氣，檢查閥門的開閉狀態(tài)等。
運行過程要點
監(jiān)測真空度與抽氣速度
持續(xù)監(jiān)測真空系統(tǒng)的真空度，確保其達到并維持在所需的工作真空度范圍內(nèi)。根據(jù)不同的應用場景，對真空度的要求也不同。例如，在半導體制造的某些工藝中，要求真空度達到 10??帕甚至更低。同時，關(guān)注抽氣速度，抽氣速度應符合系統(tǒng)設(shè)計要求。如果真空度無法達到設(shè)定值或者抽氣速度明顯下降，可能是系統(tǒng)漏氣、真空泵性能下降或者氣體負載增加等原因?qū)е碌模枰皶r檢查和處理。
觀察設(shè)備運行狀態(tài)（溫度、聲音、振動等）
注意觀察真空泵機組各設(shè)備的運行溫度。例如，油封真空泵在運行過程中，泵體溫度會升高，但不應超過規(guī)定的溫度范圍。如果溫度過高，可能是泵的潤滑不良、電機過載或者散熱不暢等原因引起的。同時，注意聽設(shè)備運行的聲音，正常情況下真空泵運行聲音平穩(wěn)，若出現(xiàn)異常噪音，如尖銳的摩擦聲、撞擊聲等，可能表示真空泵內(nèi)部部件磨損或者有異物進入。另外，還要關(guān)注設(shè)備的振動情況，過度振動可能是由于真空泵安裝不平衡、電機故障或者連接部件松動等原因?qū)е碌摹?br>檢查工作液（如果有）狀態(tài)
對于使用工作液的真空泵（如擴散泵），要定期檢查工作液的狀態(tài)。包括工作液的液位、顏色和清潔度等。液位過低會影響真空泵的性能，需要及時補充工作液。如果工作液顏色變深或者出現(xiàn)雜質(zhì)，可能會降低真空泵的效率，甚至損壞真空泵，需要更換工作液。同時，要確保工作液的循環(huán)系統(tǒng)正常工作，如循環(huán)泵正常運轉(zhuǎn)，管道無堵塞等。
定期記錄運行參數(shù)
在真空泵機組運行過程中，定期記錄真空度、抽氣速度、設(shè)備溫度、電流、電壓等運行參數(shù)。這些記錄可以幫助分析真空泵機組的性能變化趨勢，及時發(fā)現(xiàn)潛在的問題。例如，通過比較不同時間的真空度和抽氣速度記錄，可以判斷真空泵是否逐漸老化或者系統(tǒng)是否存在逐漸加重的漏氣情況。
停機過程要點
順序停機真空泵
停機時，應按照與啟動相反的順序關(guān)閉真空泵。首先關(guān)閉主真空泵，待主真空泵完全停止后，再關(guān)閉前級真空泵。這樣可以避免主真空泵在高真空狀態(tài)下突然暴露在大氣壓下而損壞。例如，對于高真空系統(tǒng)，在關(guān)閉擴散泵后，要等待擴散泵冷卻，內(nèi)部壓力恢復到一定程度后，再關(guān)閉旋片真空泵。
放空系統(tǒng)壓力（如果需要）
在某些情況下，停機后需要將真空系統(tǒng)中的壓力放空?？梢酝ㄟ^緩慢打開進氣閥，讓空氣逐漸進入系統(tǒng)，使系統(tǒng)壓力恢復到大氣壓。在放空過程中，要注意控制進氣速度，避免過快的壓力變化對系統(tǒng)造成沖擊。例如，對于一些對壓力變化敏感的真空設(shè)備，如精密的真空鍍膜設(shè)備，過快的壓力恢復可能會導致鍍膜層脫落或者設(shè)備內(nèi)部部件損壞。
清理與維護工作準備
停機后，可以為后續(xù)的清理和維護工作做準備。例如，準備好清潔工具、檢查和更換所需的零部件等。同時，在停機后，設(shè)備可能還處于高溫狀態(tài)，要注意防止燙傷，等待設(shè)備冷卻后再進行清理和維護操作。